د نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3) لوړ پاکوالی ګاز
بنسټیز معلومات
CAS | 7783-54-2 |
EC | 232-007-1 |
UN | 2451 |
دا مواد څه شی دی؟
نایتروجن ټرای فلورایډ (NF3) یو بې رنګ او بې بوی ګاز دی چې د خونې د تودوخې او اتموسفیر فشار کې دی. دا د اعتدال فشار لاندې مایع کیدی شي. NF3 په نورمال شرایطو کې باثباته دی او په اسانۍ سره نه تخریب کیږي. په هرصورت، دا کولی شي تخریب شي کله چې د لوړې تودوخې سره مخ شي یا د ځانګړو کتلستونو په شتون کې. NF3 د نړیوال تودوخې لوړ ظرفیت (GWP) لري کله چې اتموسفیر ته خوشې کیږي.
دا مواد چیرته کارول کیږي؟
د الکترونیکي صنعت کې د پاکولو اجنټ: NF3 په پراخه کچه د پاکولو اجنټ په توګه د پاتې ککړتیاو لرې کولو لپاره کارول کیږي ، لکه آکسایډونه ، د سیمی کنډکټرونو سطحو څخه ، د پلازما ډیسپلی پینل (PDPs) ، او نور بریښنایی اجزا. دا کولی شي دا سطحونه په مؤثره توګه پاک کړي پرته لدې چې دوی ته زیان ورسوي.
د سیمی کنډکټر په جوړولو کې د اینچنګ ګاز: NF3 د سیمی کنډکټرونو د جوړولو په پروسه کې د اینچنګ ګاز په توګه کارول کیږي. دا په ځانګړي ډول د سیلیکون ډای اکسایډ (SiO2) او سیلیکون نایټرایډ (Si3N4) په نقاشۍ کې مؤثره دی ، کوم چې د مدغم سرکیټونو په جوړولو کې کارول شوي عام توکي دي.
د لوړ پاکوالي فلورین مرکباتو تولید: NF3 د مختلف فلورین لرونکي مرکباتو تولید لپاره د فلورین ارزښتناکه سرچینه ده. دا د فلوروپولیمر، فلورو کاربن، او ځانګړي کیمیاوي موادو په تولید کې د مخکینۍ په توګه کارول کیږي.
د فلیټ پینل ډیزاین تولید کې د پلازما تولید: NF3 د نورو ګازونو سره د فلیټ پینل ډیزاینونو په تولید کې د پلازما رامینځته کولو لپاره کارول کیږي ، لکه د مایع کرسټال ډیسپلیز (LCDs) او PDPs. پلازما د تختې د جوړولو په جریان کې د مینځلو او ایچ کولو پروسو کې اړین دی.
په یاد ولرئ چې د دې موادو / محصول کارولو لپاره ځانګړي غوښتنلیکونه او مقررات ممکن د هیواد، صنعت او هدف له مخې توپیر ولري. تل د خوندیتوب لارښوونې تعقیب کړئ او په هر غوښتنلیک کې د دې موادو/محصول کارولو دمخه د متخصص سره مشوره وکړئ.